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激光整形后树脂水磨片表面轮廓精度得到大幅提高

2020/8/21 9:09:33      点击:

整形前,先用激光对树脂水磨片表面进行破坏,破坏后树脂水磨片的表面形貌、圆跳动和平行度误差,,凹凸不平的结合剂表面覆盖有大量组织稀疏、把持强度低的熔凝物,等高性差的磨粒因激光烧蚀去除而变钝,且其表面覆盖有大量规则排列的烧蚀凹坑,可见磨粒已丧失磨削能力。由此可知,破坏后的树脂水磨片表面圆跳动误差和平行度误差达到83.1μm和324.6 μm,可见树脂水磨片已失去正确的几何形状。

在激光整形后树脂水磨片表面地貌和磨粒拉曼光谱、树脂水磨片表面圆跳动和平行度误差的检测结果中,磨粒和结合剂已基本被激光束削平,整形效果较理想。1330.44.1 581.96 cm'处的特征谱线为sp'结构的金刚石特征峰、p2结构的石墨特征峰,峰值相对强度为2.37x10* .6.15x10* s' ,表明整形后磨粒发生了石墨化转变。树脂水磨片表面圆跳动和平行度误差为6.8.3.8μm,可见整形后树脂水磨片表面轮廓精度得到大幅提高。